產品介紹
在多晶矽生產過程中，三氯氫矽（SiHCl3）合成、氫還原和四氯化矽（SiCl4）氫化等工序中，副產的尾氣，含有氫氣（H2）、氯化氫（HCl）、二氯氫矽（SiH2Cl2）、三氯氫矽（SiHCl3）和四氯化矽（SiCl4）的尾氣。我公司針對此種尾氣氣源進行實驗研究，開發了氯矽烷和氯化氫專用吸附劑及配套的吸附分離工藝，可以將尾氣中的氯矽烷、氯化氫以及氫氣進行回收，淨化後尾氣中的氯矽烷含量降低到ppm及以下，降低了原料消耗，提高企業的經濟效益。
采用該技術後，隻需對流程適當調整，就可將氫氣中的微量組分如CO、CO2、CH4、N2、O2等微量雜質脫除，大大提高氫氣品質，使多晶矽的產品質量穩定提高。
gongsikegenjuyonghumuqianzhuangzhishijiqingkuang，keduixianyougongyijinxingjubugaijinhuoquanxinsheji，dadaolixiangdejinghuahuishouxiaoguo。gaijishujuyouwanquandezizhuzhishichanquan，xiaoguoyouyujinkoujishu，keweiyonghudailaijingjixiaoyi、環保效益。
產品特點
產品特點:
1. 工藝流程簡單、運行穩定；
2. 吸附劑分離係數高，氯矽烷回收率高；
3. 撬塊設計，裝置占地小；
4. 氯化物、氫氣純度高、質量穩定；
5. 比吸收法及低溫法，腐蝕小，投資省；
6. 可以實現全自動運行，遠程監控，無人值守；
7. 可根據用戶實際情況，進行工藝定製設計。
